洁净室兼容,这种来自PI的新型高性能非接触微型线性滑片适用于晶圆片检查、扫描/计量、光纤对准、激光微加工和标记、自动聚焦和基因组测序等应用。
PI的空气轴承运动产品线正在再次扩大。新型a -142高性能紧凑的纳米定位和线性对准台设计了音圈电机和无摩擦空气轴承滑块,具有卓越的精度,可高度重复运动。这种低调的纳米定位台,只有27毫米高(1.1英寸),免维护,由于其非颗粒发电驱动和指导原理,洁净室兼容。它的75x80mm(≈3×3¼英寸)移动平台可提供10mm(0.4英寸)的无迟滞线性旅行,同时支持高达3kg(6.6磅)的负载。
空气轴承导轨保证直线度100nm,平整度0.5 μ m。集成音圈电机实现高运动性能,最大速度可达450毫米/秒,加速度可达20米/秒,在动态扫描和定位应用中具有很大优势。那又小又快!更大的灵活性为校准和计量操作在Z实现了可选的气动平衡,允许垂直安装而不损失电机性能。a -142可以作为一个独立的纳米定位设备操作,但对于多轴运动的要求,组合和集成到XY和XYZ组件也可用。
在半导体测试和计量、基因组测序、生物技术、医疗工程、高分辨率显微镜、光学和光子制造等领域的高精度工业自动化过程。
欲了解更多信息,请访问pi-usa.us.
了下:线性运动技巧